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冷却架温度：－5℃以下（取决于冷却水温度）
冷却架尺寸：200×200×10mm
真空到达度：133Pa（1Torr）
真空室材质：不锈钢（SUS304）
观察窗尺寸：280×270mm
真空阀软管接头直径：φ8mm
冷却水出入口口径：φ9.5mm
重量：约29kg
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